1光刻工程师
光刻工艺控制/光刻基础原理/曝光系统工作原理
光刻分辨率公式里，决定分辨率的关键参数有哪些？
题目摘要
光刻工程师面试题：光刻分辨率公式里，决定分辨率的关键参数有哪些？重点考察瑞利判据公式及三个关键参数（波长、NA、工艺因子）的物理含义与影响方向。可结合先写出公式，再逐一解释三个参数对分辨率的影响趋势（变大还是变小），最后简述技术演进是如何围绕这三个参数展开的来组织回答。
- 岗位方向：光刻工程师
- 所属章节：光刻工艺控制
- 当前小节：曝光系统工作原理
- 考察重点：瑞利判据公式及三个关键参数（波长、NA、工艺因子）的物理含义与影响方向。
- 作答建议：先写出公式，再逐一解释三个参数对分辨率的影响趋势（变大还是变小），最后简述技术演进是如何围绕这三个参数展开的。
考察要点
瑞利判据公式及三个关键参数（波长、NA、工艺因子）的物理含义与影响方向。
答题思路
先写出公式，再逐一解释三个参数对分辨率的影响趋势（变大还是变小），最后简述技术演进是如何围绕这三个参数展开的。
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