离轴照明技术为什么能提高分辨率？

光刻工程师面试题：离轴照明技术为什么能提高分辨率？重点考察离轴照明对零级光和一级衍射光夹角的改变，以及对空间频率的扩展作用。可结合从常规照明与离轴照明的光路对比入手，解释零级光位置变化如何允许更高频率的衍射光进入透镜，从而解析更细密的线条来组织回答。

• 岗位方向：光刻工程师
• 所属章节：光刻工艺控制
• 当前小节：曝光系统工作原理
• 考察重点：离轴照明对零级光和一级衍射光夹角的改变，以及对空间频率的扩展作用。
• 作答建议：从常规照明与离轴照明的光路对比入手，解释零级光位置变化如何允许更高频率的衍射光进入透镜，从而解析更细密的线条。